三維表面形貌測量傳感器IF-Sensor

三維表面形貌測量?jì)xIF-Sensor R25

三維表面形貌測量傳感器IF-Sensor R25 是奧地利alicona公司專(zhuān)門(mén)針對生產(chǎn)中全自動(dòng)測量形貌和粗糙度而設計的一款光學(xué)三維測量?jì)x。

三維表面形貌測量傳感器IF-Sensor R25 系 統

傳感器與生產(chǎn)線(xiàn)相結合使得在測量微米和亞微米級別的表面特性時(shí)該設備可以提供高分辨率，可重復型和可溯源的結果。所測得結果的分辨率是傳統2D測量和接觸式測量所不能比擬的。

R25 優(yōu) 勢

在研發(fā)和生產(chǎn)過(guò)程中，自動(dòng)變焦（Focus-variation)技術(shù)可以提供高分辨率、高重復性的測量結果。因此 R25為研發(fā)和生產(chǎn)提供了同一個(gè)測量流程平臺。標準化界面(QDAS)支持生產(chǎn)中的簡(jiǎn)易快速整合，實(shí)現了生產(chǎn)線(xiàn)和實(shí)驗室測量結果的對比。

R25的技術(shù)參數：

位移距離（Z）：26mm（自動(dòng)調節）

zui大掃描高度：25mm

*垂直分辨率：20nm

zui小測量半徑：2µm

zui小測量楔角：20°

zui小測量粗糙度(Ra):80nm

zui小測量粗糙度(Sa):50nm

zui大測量?jì)A斜角：87°